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“集成電路前道高產能深紫外光刻工藝涂膠顯影設備研發”項目順利通過結題驗收

發布時間:2021-07-13  來源:信息技術發展與產業化處

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   日前,由沈陽芯源微電子設備股份有限公司牽頭承擔的2019年度遼寧省科技重大專項“集成電路前道高產能深紫外光刻工藝涂膠顯影設備研發”項目已順利結題驗收。 

  項目先后攻克了高產能小型化設備架構設計開發、光刻機聯機作業的智能化控制和軟件平臺開發、在線工藝缺陷檢測單元開發以及多分區高精度陶瓷熱板開發等“卡脖子”核心技術4項,開發出了具有自主知識產權的滿足深紫外光刻工藝要求和高產能需求的光刻涂膠顯影設備新產品1項,實現多種工藝兼容(I-Line、KrF、ArF等)、工藝參數精密控制和設備智能化等功能,掌握先進制造及成套工藝技術。已累計實現3臺套項目產品上線應用,完成了與ASML、佳能等2種主流光刻機聯機運行。 

  該項目的順利實施,在前道工序深紫外光刻工藝涂膠顯影設備領域率先實現國產化,打破西方發達國家對高技術產品,特別是高端集成電路設備的壟斷與控制,是解決國產半導體裝備的卡脖子短板項目,對促進我國集成電路產業的健康發展、東北老工業基地的戰略升級具有重要意義。 

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