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“IC裝備關鍵零部件涂鍍純鋁特種涂層制備技術攻關及產業化”項目順利 通過結題驗收

發布時間:2021-06-24  來源:信息技術發展與產業化處

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   日前,由沈陽富創精密設備股份有限公司承擔的2019年度遼寧省科技重大專項“IC裝備關鍵零部件涂鍍純鋁特種涂層制備技術攻關及產業化”項目順利通過結題驗收。 

  該項目攻克了“超高致密純鋁涂層制備技術、復雜異形件表面純鋁涂層均勻控制技術、冷噴涂純鋁涂層的專用陽極化技術、鑄造鋁合金部件微孔等缺陷修復技術”等多項卡脖子關鍵技術,成功開發出腔體、接地基片等核心零部件產品,項目已申請PCT專利1項,國內發明專利3項,已授權實用新型專利3項,取得了豐碩科技成果。為國內龍頭裝備廠商北方華創、中科信、中意天航等企業進行零部件首件的研發和批量制造,打破了國外對中國集成電路產業的技術封鎖,顯著提升我國集成電路整機企業綜合競爭力。 

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