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“新一代高效節能真空干泵研發和示范應用”項目順利通過結題驗收

發布時間:2021-06-08  來源:信息技術發展與產業化處

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   近日,由中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司承擔的2019年度遼寧省科技重大專項“新一代高效節能真空干泵研發和示范應用”項目順利通過結題驗收。 

  該項目針對集成電路生產線工藝對真空獲得系統提出的特殊要求,完成了泵的智能控制、熱場分布分區溫控研究、高轉速下動平衡等關鍵技術研究,研制出具備智能控制、故障診斷、遠程運維及自適應功能的節能型、小體積、大抽速干泵產品。 

  該項目滿足了國內整機設備廠商、Fab廠對小體積大抽速節能型干泵的迫切需求,應對國外同行的技術和市場擠壓,擺脫了被動的市場競爭地位,實現了替代進口,全面提升了國產真空干泵在國際、國內市場的競爭力,為我省集成電路領域核心部件發展提供了有力技術支撐。 

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