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國家真空儀器裝置工程技術研究中心

發布時間:2018-05-04  來源:

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  國家真空儀器裝置工程技術研究中心(以下簡稱工程中心)是依托中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司組建的我國真空技術領域唯一一家工程技術研究中心。工程中心2000年經國家科技部批準組建,2003年通過國家科技部驗收,在當年驗收的國家工程技術研究中心中排名第一 

  工程中心享有極高的行業地位,擔任了中國真空學會/協會副理事長單位、全國真空技術標準化技術委員會會員單位、遼寧半導體裝備產業技術創新戰略聯盟理事長單位等重要行業職務。工程中心建立了規范的法人治理結構和完整的現代化企業管理體系,在內部全面推行7S現場管理模式、ISO9001國際質量體系、ERP,為工程中心的可持續發展奠定了必要的基礎。 

  工程中心以高真空、超高真空、超潔凈真空技術為基礎,主要研制生產薄膜材料/納米材料/半導體材料制備設備、空間環境模擬裝置、真空冶金設備、真空獲得設備以及高檔真空部件,是我國真空設備和高檔科學儀器的重要研制、生產基地。通過持續不斷地將具有重要應用前景的科技成果進行系統化、工程化研究開發,建立科技成果向生產力轉化的中間環節,加快科技成果產業化進程,不斷推出具有高增值效益的系列產品,帶動真空行業、領域的科技進步和國家戰略性新興產業的發展。 

  工程中心占地面積110畝,建筑面積3.5萬平方米,擁有完備的工程技術綜合配套試驗條件,建有7000平方米的潔凈裝調間、200平米的萬級潔凈實驗室和特種工藝清洗線,擁有先進的加工和檢測試驗設備100多臺套,在加工、焊接、化學拋光、真空除氣、清洗、噴砂等方面具有明顯優勢 

  工程中心培養鍛煉了一支國內一流的工程技術研究開發、設計和試驗專業人才隊伍,其中專職研究開發人員115人,研究開發實力雄厚。工程中心長期致力于從事開放性服務,先后承擔并出色完成了國家863計劃、科技支撐計劃、儀器專項、“02”專項、國家高技術產業化項目計劃、地方科技計劃等一系列國家、地方及行業重大科研任務,攻克了IC成膜、超潔凈真空獲得、真空動密封等制約我國半導體、太陽能光伏、航空航天及科學研究等高端領域發展的共性關鍵技術,研制開發出了平板式太陽能電池覆膜設備、系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、系列濺射離子泵、超潔凈真空閘板閥等一批具有國際先進、國內領先水平的高技術產品;接受委托,為國內外科研院所、大專院所及高技術企業提供各類高端科研儀器設備2000多臺套,促進了我國科研事業的發展;承擔了載人航天工程、上海三代光源工程等國家重大基礎設施關鍵核心部件的研制開發任務,為國家重大工程建設做出了卓越貢獻;先后獲得國家科技進步特等獎、一等獎、二等獎十余項,中科院科技進步獎近五十項,地方及行業獎項幾十項。 

  目前,工程中心已發展成為一家發展方向明確,具備穩定收入來源,擁有國內一流的工程技術研究開發、設計和試驗專業人才隊伍,具有較完備的工程技術綜合配套試驗條件,能夠提供多種綜合性服務,與相關企業緊密聯系,同時具有自我良性循環發展機制的科技開發實體。 

 

  1—公司外景

 

  2—整機裝調大廳

 

  3—干泵裝調大廳

 

  4—薄膜制備設備

 

  5—晶體制備設備

 

  6—系列羅茨干泵

 

  7—系列渦旋干泵

 

  8—系列離子泵

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